KEITHLEY S530参数测试系统

吉时利仪器公司不断增强半导体行业性价比最高的高速生产参数测试方案——S530参数测试系统的功能。由于有吉时利测试环境软件(KTE V5.4）的支持，S530目前配置为48引脚全Kelvin开关以及脉冲发生、频率测量和低电压测量的新型集成选件。这些新增强的功能帮助S530系统实现了更宽范围的生产参数测试应用和高速、经济有效的测试方案。

48引脚全Kelvin开关配置

S530低电流系统利用高性能开关矩阵控制测量仪器与测试引脚之间的信号传输，实现了一直到探针引脚的亚皮安级测量分辨率和低电流防护。目前，此系统的最新功能增强支持48引脚全Kelvin（4线式）开关配置，使以前提供的全Kelvin引脚数量翻番。通过保持与全Kelvin开关和连线有关的信号完整性，同时将系统最大引脚数翻番，S530结合了精密高速测量和增强的系统配置灵活性以确保未来的全面测试覆盖。

环路振荡器选件的测量功能

一种新的高速、高分辨率示波器选件支持宽频测量范围上的环路振荡器测试。该新系统选件以高达400兆采样/秒的采样速率实现了从大约10kHz至20MHz的测量。随着越来越多的半导体晶圆厂已将环路振荡器纳入整个过程控制监测测试结构中，参数测试系统的频率测量功能变得日益重要。

脉冲发生选件的功能

随着更多的集成电路设计中引入了嵌入式存储器例如闪存，半导体晶圆厂不断将内存结构和测量加入过程控制监测程序，这些器件的测试要求输出用户定义的电压脉冲来设置和擦除内存单元，再进行器件的精密直流测量。为满足此需求，把现在放置电容-电压(C-V)仪器卡的相同子系统机箱集成2通道、4通道或6通道脉冲发生功能至S530的配置中，使S530产生宽范围的器件测试波形并增强系统灵活性。

系统DMM选件

作为过程控制监测的一部分，测试范德堡和金属结构要求结合低压测量、高测量分辨率和卓越的可重复性。对于这些应用而言，S530系统现提供专为低压测量优化的7位半、低噪声数字万用表选件。它在最低量程（100mV）上具有10nV分辨率，在次低量程（1V）上具有100nV分辨率，同时具有7ppm直流电压可重复性。

选择低电流或高电压系统

有两种不同配置的S530系统。S530低电流系统适于测量亚域值漏电、栅漏电等特性。S530高压系统包含的源测量单元（SMU）能输出高达1000V@20mA（20W最大值）至任意系统引脚。此版本优化了GaN、SiC和Si LDMOS功率器件所需的难度较大的故障测试和漏电测试。虽然新的48针Kelvin开关是低电流系统的独特功能,但所有新的量测选项都可搭配于这两个系统。

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